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2萬科技工作者9年攻關(guān)，從無到有填補空白，由弱漸強走向世界。5月23日，科技部會同北京市和上海市人民政府組織召開國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”(簡稱集成電路專項)成果發(fā)布會。

會上，專項技術(shù)總師葉甜春表示，缺乏自主知識產(chǎn)權(quán)一直是制約我國集成電路企業(yè)自主創(chuàng)新發(fā)展的瓶頸問題，專項提出“專利導(dǎo)向下的研發(fā)戰(zhàn)略”，從戰(zhàn)略高度布局核心技術(shù)的知識產(chǎn)權(quán)。專項實施9年來，共申請了2.3萬余項國內(nèi)發(fā)明專利和2000多項國際發(fā)明專利，形成了自主知識產(chǎn)權(quán)體系，極大提升了我國集成電路技術(shù)自主創(chuàng)新能力，促使我國集成電路制造技術(shù)發(fā)展模式從“引進消化吸收再創(chuàng)新”轉(zhuǎn)變?yōu)?ldquo;自主研發(fā)為主加國際合作”的新模式。

集成電路芯片是信息時代的核心基石

集成電路制造技術(shù)代表著當(dāng)今世界微細(xì)制造的最高水平，集成電路產(chǎn)業(yè)已成為影響社會、經(jīng)濟和國防的安全保障與綜合競爭力的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)。

“沒有集成電路產(chǎn)業(yè)支撐，信息社會就失去了根基，集成電路因此被喻為現(xiàn)代工業(yè)的‘糧食’”。葉甜春說，我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展長期受到西方發(fā)達國家的限制，其主要手段是對出口到中國的制造裝備和材料以及工藝技術(shù)進行嚴(yán)格審查和限制。這一狀況對我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展構(gòu)成了嚴(yán)重制約，問題日益凸顯。

為實現(xiàn)自主創(chuàng)新發(fā)展，2008年國務(wù)院批準(zhǔn)實施集成電路專項，主攻裝備、工藝和材料的自主創(chuàng)新。據(jù)科技部重大專項辦公室主任陳傳宏介紹，該專項由北京市和上海市人民政府牽頭組織實施。共有200多家企事業(yè)單位、2萬多名科學(xué)工作者參與技術(shù)攻關(guān)，集中在北京、上海、江蘇、沈陽、深圳和武漢等6個產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)。

我國集成電路制造技術(shù)體系和產(chǎn)業(yè)生態(tài)建立完善

發(fā)布會上，介紹了包括9年來已研發(fā)成功并進入海內(nèi)外市場的30多種高端裝備和上百種關(guān)鍵材料產(chǎn)品，面向全球開展服務(wù)的65至28納米產(chǎn)品工藝和高密度封裝集成技術(shù)成果。

專項牽頭實施單位北京市經(jīng)信委主任張伯旭表示，高端裝備和材料從無到有填補產(chǎn)業(yè)鏈空白，制造工藝與封裝集成由弱漸強走向世界參與國際競爭，表明國家科技重大專項打造集成電路制造創(chuàng)新體系的階段性目標(biāo)已經(jīng)實現(xiàn)。

在專項支持下，一批龍頭企業(yè)進入世界前列，一批骨干企業(yè)進入國際市場，一批企業(yè)成功上市。據(jù)統(tǒng)計，“國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金”成立以來所投資項目的60%以上是集成電路專項前期支持和培育的企業(yè)。

可喜的是，國內(nèi)企業(yè)利用高端裝備和材料自主創(chuàng)新成果研制出了成套的LED和光伏制造裝備，使得我國LED和光伏等泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)綜合競爭力大幅躍升，產(chǎn)業(yè)規(guī)模和技術(shù)水平實現(xiàn)了國際領(lǐng)先。

支持中國企業(yè)提升全球產(chǎn)業(yè)鏈競爭力

對于專項今后的發(fā)展，上海市科委總工程師傅國慶表示，面向2020年，專項將圍繞傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)升級和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需求組織攻關(guān)，推動創(chuàng)新成果的規(guī)模化應(yīng)用，培育具有國際競爭力的產(chǎn)業(yè)集群。

據(jù)葉甜春介紹，專項將具體圍繞移動通訊、大數(shù)據(jù)應(yīng)用、新能源、智能制造、物聯(lián)網(wǎng)等重點領(lǐng)域大宗產(chǎn)品制造需求，進行工藝、裝備和關(guān)鍵材料的協(xié)同布局。“專項已經(jīng)在14納米裝備、工藝、封裝、材料等方面進行了系統(tǒng)部署，預(yù)計到2018年將全面進入產(chǎn)業(yè)化。”

葉甜春還透露，“十三五”將重點支持7-5納米工藝和三維存儲器等國際先進技術(shù)的研發(fā)，支持中國企業(yè)在全球產(chǎn)業(yè)鏈中擁有核心競爭力，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展，形成特色優(yōu)勢。